Rezumat
Meditorul de flux de masă este o componentă foarte critică a echipamentelor de fabricare a semiconductorilor. Stabilitatea sa de lucru este adesea un factor cheie al succesului sau eșucului unui proces de semiconductori.
HORIBA STEC, Fiind un producător de debitometre cu o cotă de piață globală de peste 35%*1, de mult timp oferim în mod constant produse de înaltă calitate și versatile pentru industria semiconductorilor. Acum, cu o tehnologie cu totul nouă, HORIBA STEC promovează în întreaga lume un nou control de flux de masă: seria Z500.
Seria Z500X reprezintă o nouă descoperire față de modelele vechi și este destinată să schimbe viitorul tehnologiei de control al fluxului. În timp ce furnizează toate funcțiile de control al fluxului necesare clienților, se realizează conversia gazelor compuse și a fluxurilor compuse. Clienții pot schimba cu ușurință tipul și domeniul de măsurare al gazelor de debit în funcție de nevoile de proces*2.
În plus, prin inovația tehnică a materialelor produselor, seria Z500 îndeplinește pe deplin cerințele de proiectare RoHS pentru produsele verzi, creștend valoarea produsului pentru clienți.
Măsoarele de debit de înaltă performanță din seria Z500 vă vor surprinde și mai mult. Lumea asistă la nașterea acestui nou mediu de flux de masă care va schimba întreaga industrie a semiconductorilor.
*1 Se referă la studiul VLSI din 2007.
*2 Gaz compus, funcție de flux compus.
Caracteristici
Precizie ridicată: setarea valorii debitului ± 1,0%.
Precizia liniară a MFC este compensată de curba de aproximare polynomială, care garantează o precizie ridicată a controlului în diferitele domenii de control. Pentru a îmbunătăți precizia controlului diferitelor tipuri de gaze reale, HORIBA STEC a dezvoltat un sistem standard de măsurare a gazelor și a colectat date de calibrare pentru diferite gaze de proces pe baza unui număr mare de experimente.
Răspuns de mare viteză
SEC-Z500X utilizează cel mai recent sistem "PID modificabil", care garantează că schimbările între oricare dintre cele două puncte de flux de setare se efectuează în 1 secundă. Atunci când se stabilesc fluxuri diferite, datele PID sunt ajustate automat și pot fi optimizate automat pentru un răspuns de mare viteză, chiar și după ce tipul de gaz și intervalul de flux sunt modificate.
Gaze compuse, soluții de flux compuse
Noile produse HORIBA STEC permit clienților să schimbe cu ușurință tipurile de gaze și fluxurile la fața locului. Software-ul nostru de configurare Z500 este simplu și ușor de utilizat. Mai bine, finalizarea acestor modificări nu necesită nici măcar demontarea MFC din sistem. Astfel, cantitatea de piese de rezervă pentru clienți poate fi redusă în mod semnificativ, economisind în același timp și costuri.
Produse și altele