Cerințe de măsurare
Adresarea filmului pe discul de aspirație, scanarea profilului de referință a filmului pentru a măsura diferența de grosime a cernealei de la segmentul de substrat

Prezentare generală a caracteristicilor principale
Măsurare fără contact, design integrat
2. Gamă largă de aplicare, instalare ușoară
± 0,5 până la ± 1 μm Precizie de repetare
4. scanare lineară, viteza poate ajunge la 50mm / s, îmbunătățirea semnificativă a vitezei de detectare
5. detectarea offline, stocarea datelor grosime, formarea datelor de bază statistice / analitice de management
6. funcție bogată de alarmă, OK, sfaturi NG, monitorizarea întregului proces de măsurare, controlul calității, creșterea eficienței

Rezultatele măsurării
Grosimea cernealei este de aproximativ 10 μm

Rezolvarea problemelor cu dispozitivele de măsurare în această fază

Există anumite cerințe pentru materialele de măsurare
Măsurarea prin contact, deteriorarea materialului de măsurare
Gama de măsurare mică, poziția incertă, dificultăți de măsurare
Viteza de măsurare lentă, precizie scăzută, eroare mare de măsurare

Structură complexă, costuri ridicate