În pregătirea apei ultrapure, interpretarea TOC (carbon organic total) este esențială, prin utilizarea tehnologiei UV-185nm de înaltă presiune ultravioletă și în combinație cu un sterilizator UV-254nm, capabil să genereze radicali liberi hidroxi în apă prin o doză ridicată de fotocataliză UV-185nm, degradarea oxidantă a materiei organice în apă pentru a reduce conținutul TOC în apă