principal
Sursă de ion KRI Hall Gridless
CTI la bord IS 低温泵
HVA Valva dreptunghiulară de vid
Pompă moleculară turbomagnetică
Refrigerator de apă ultra-scăzută Thermonics
Instrument și contor
Mașină Hakuto Ionic IBE
Mașină de grabat ionic Hakuto 20IBE-J
Operaţiune reuşită!